摘要 |
<p>Предлагаемая полезная модель относится к вакуумной технике, а более конкретно к установке для откачки вакуумной камеры. Установка содержит последовательно подсоединенные к откачиваемой камере высоко вакуумный агрегат и форвакуумный насос и установленный между ними клапан, причем форвакуумный насос подсоединен к вакуумной камере дополнительной линией. В дополнительной линии перед форвакуумным насосом установлены два клапана и двухпозиционный сигнализирующим мановакууметром, при этом ближайший к откачиваемой вакуумной камере клапан выполнен регулируемым контактной группой мановакууметра. Наличие в дополнительной линии клапана, регулируемого настройкой установленным за ним мановакууметра, позволяет предотвратить выброс масла из форвакуумного насоса и тем самым повысить надежность его работы.</p> |