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发明名称 Polycyclic resist compositions with increased etchresistance
摘要
申请公布号 HK1035199(A1) 申请公布日期 2006.01.27
申请号 HK20010105885 申请日期 2001.08.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;SUMITOMO BAKELITE COMPANY LIMITED 发明人 SAIKUMAR JAYARAMAN;GOODALL, BRIAN, L.;RHODES, LARRY, F.;SHICK, ROBERT, A.;RICHARD VICARI;ALLEN, ROBERT, D.;JULIANN OPITZ;RATNAM SOORIYAKUMARAN;THOMAS WALLOW
分类号 C08F4/80;C08F32/08;C08F232/08;C08G61/06;C08G61/08;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):C08F;C08G;G03F 主分类号 C08F4/80
代理机构 代理人
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