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发明名称 Micromachined electromechanical device
摘要
申请公布号 SG118266(A1) 申请公布日期 2006.01.27
申请号 SG20040003751 申请日期 2004.06.28
申请人 AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH 发明人 KUI YAO;XUJIANG HE;JIAN ZHANG;SANTIRANJAN SHANNIGRAHI
分类号 B81C1/00;B81B1/00;B81B3/00;H01L21/00;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;H01L41/24;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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