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经营范围
发明名称
Oxide structure useable for optical waveguide and method of forming the oxide structure
摘要
申请公布号
SG118148(A1)
申请公布日期
2006.01.27
申请号
SG20020004671
申请日期
2002.08.02
申请人
ASML US, INC.
发明人
MARTIN MOGAARD
分类号
G02B6/12;C01B13/14;C03B19/14;C23C16/40;G02B6/13;G02B6/134;(IPC1-7):G02B6/132
主分类号
G02B6/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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