发明名称 Semiconductor integrated circuit device productionand operation method thereof
摘要
申请公布号 SG118065(A1) 申请公布日期 2006.01.27
申请号 SG20000003919 申请日期 2000.07.13
申请人 HITACHI LTD.;HITACHI DEVICE ENGINEERING CO. LTD. 发明人 TAKASHI KOBAYASHI;HIDEAKI KURATA;NAOKI KOBAYASHI;HITOSHI KUME;KATSUTAKA KIMURA;SHUNICHI SAEKI
分类号 G11C16/04;H01L21/822;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 主分类号 G11C16/04
代理机构 代理人
主权项
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