发明名称 |
Semiconductor integrated circuit device productionand operation method thereof |
摘要 |
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申请公布号 |
SG118065(A1) |
申请公布日期 |
2006.01.27 |
申请号 |
SG20000003919 |
申请日期 |
2000.07.13 |
申请人 |
HITACHI LTD.;HITACHI DEVICE ENGINEERING CO. LTD. |
发明人 |
TAKASHI KOBAYASHI;HIDEAKI KURATA;NAOKI KOBAYASHI;HITOSHI KUME;KATSUTAKA KIMURA;SHUNICHI SAEKI |
分类号 |
G11C16/04;H01L21/822;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 |
主分类号 |
G11C16/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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