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发明名称 FORMING METHOD OF HIGH-K DIELECTRIC IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060008621(A) 申请公布日期 2006.01.27
申请号 KR20040057341 申请日期 2004.07.22
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 EUN, BYUNG SOO
分类号 H01L21/336;H01L21/31 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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