| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к измерительной технике, в частности к преобразователям механических величин в электрический сигнал, основанный на тензорезистивном эффекте, и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных сред. Тензопреобразователь давления, содержит двухслойный упругий элемент в виде металлической мембраны, жестко соединенной с диэлектрической подложкой, на которой расположены тензорезисторы, соединенные в мостовую схему, согласно изобретению, тензорезисторы выполнены из поликристаллического кремния, а диэлектрическая подложка выполнена из окиси алюминия. Технический результат заключается в повышении температурной и временной стабильности тензопреобразователя, снижении стоимости тензопреобразователей.</p> |
