| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к электронной технике и может быть использована в оборудовании для изготовления жидкокристаллических экранов (ЖКЭ), в частности, при изготовлении фильтров на прямоугольных стеклянных подложках размером 500×400 мм и толщиной 1 мм. Устройство для бесконтактной очистки плоских стеклянных подложек содержит камеру для обработки, держатель подложек, источник УЗ-колебаний. Новым в устройстве является то, что источник УЗ колебаний выполнен в виде стержневых газоструйных излучателей, содержащих сопло и резонатор, расположенных по обе стороны от плоскости подложки. При этом каждый излучатель установлен в корпусе вытяжного устройства, снабженного вытяжным патрубком и отверстием со стороны сопла, а в области зоны обработки подложек установлены два щелевых вакуумных патрубка по всей ширине подложки. Держатель подложки выполнен в виде верхнего и нижнего ряда роликов, установленных в камере по обе стороны от торцевых сторон подложки на осях, закрепленных соответственно на верхней и нижней планках и снабженных круговым прямоугольным пазом с конусной заходной поверхностью. Кроме того, устройство дополнительно снабжено механизмом загрузки-выгрузки подложки в камеру и из нее, выполненным в виде ряда роликов, установленных на планке аналогично и соосно нижнему ряду роликов камеры, и двух удерживающих вилок, взаимодействующих от привода с противоположными торцами обрабатываемой подложки. Это обеспечивает высокое качество сухой очистки подложек, расширяет функциональные возможности устройства, позволяет автоматизировать процесс обработки.</p> |
