发明名称 APPARATUS FOR
摘要
申请公布号 KR20060008438(A) 申请公布日期 2006.01.27
申请号 KR20040056176 申请日期 2004.07.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, SUNG SOK;PARK, JIN JUN
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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