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经营范围
发明名称
EQUIPMENT FOR FABRICATING OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
KR20060008361(A)
申请公布日期
2006.01.26
申请号
KR20040057026
申请日期
2004.07.22
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, HO YOUNG
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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