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发明名称 METHOD OF FABRICATING NANO-SOI WAFER HAVING PROXIMITY GETTERING ABILITY AND NANO-SOI WAFER FABRICATED BY THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060008394(A) 申请公布日期 2006.01.26
申请号 KR20040057081 申请日期 2004.07.22
申请人 PARK, JEA GUN 发明人 PARK, JEA GUN;LEE, GON SUB;AHN, SANG JOON
分类号 H01L21/20;H01L21/322 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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