COATING SYSTEM ADAPTED TO A CLEAN ROOM

摘要

In der Vakuumkammer einer erfindungsgemässen Beschichtungsanlage, in welcher glasartige, glaskeramische und/oder keramische Schichten auf Substrate durch Abscheiden aus der Gasphase aufgebracht werden, ist zumindest eine Abschirmungseinrichtung angeordnet, welche die Vakuumkammerwände und/oder die in der Kammer angeordneten Bauteilen vor unerwünschten Ablagerungen des Schichtausgangsmaterials schützt. Wesentlich ist es, dass bei Temperaturänderungen in der Vakuumkammer, die Ausdehnung bzw. Schrumpfung der Abschirmungseinrichtung der Ausdehnung bzw. Schrumpfung der glasartigen, glaskeramischen oder keramischen Schicht bzw. Ablagerungen entspricht.