ELLIPSOMETRY DEVICE PROVIDED WITH A RESONANCE PLATFORM

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die vorteilhafte Fortbildung einer unter der Gattung der Ellipsometer einzuordnenden Vorrichtung. Dabei wird das herkömmliche Ellipsometer um eine so genannte Resonanzplattform ergänzt, auf deren Oberfläche Moden angeregt werden können. Im Gegensatz zu den im Stand der Technik bekannten Oberflächenplasmonen sind die erfindungsgemäßen Moden lateral lokalisiert. Ausserdem umfasst die Resonanzplattform nicht notwendigerweise eine metallische Schicht. Die Vorrichtung kann auch als abbildende Vorrichtung ausgestaltet sein. Im erfinderischen Verfahren wird die zu messende Probe auf die Oberfläche der Resonanzplattform aufgebracht und anschliessend mit Licht beaufschlagt und dadurch Moden angeregt. Die Resonanzlage der Moden wird durch das Adsortionsverhalten des zu messenden Stoffes bestimmt.