发明名称 APPARATUS FOR SENSING TEMPERATURE IN FURNACE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20060007546(A) 申请公布日期 2006.01.26
申请号 KR20040056369 申请日期 2004.07.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JUNG NAM
分类号 G01K1/12;G01K7/02 主分类号 G01K1/12
代理机构 代理人
主权项
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