发明名称 WEFER TEST APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060007834(A) 申请公布日期 2006.01.26
申请号 KR20040057228 申请日期 2004.07.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHA, JEONG MIN
分类号 H01L21/66;H01L21/68 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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