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发明名称 METHOD FOR FABRICATING FLEXIBLE SINGLE-CRYSTAL FILM AND FLEXIBLE ELECTRO-OPTICAL DEVICE, APPERATUS FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100547237(B1) 申请公布日期 2006.01.26
申请号 KR20030032841 申请日期 2003.05.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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