发明名称 Rinsing composition and use thereof in rinsing silicon wafers
摘要
申请公布号 GB2416354(A) 申请公布日期 2006.01.25
申请号 GB20050011899 申请日期 2005.06.13
申请人 FUJIMI INCORPORATED 发明人 HIROYUKI NAKAGAWA
分类号 C11D11/00;C11D3/22;C11D3/37;C11D7/32 主分类号 C11D11/00
代理机构 代理人
主权项
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