发明名称 |
LCD单元内成形结构的制造方法及其掩模 |
摘要 |
一种在液晶显示单元内形成成形结构的方法,该方法包括给晶体管板(2)涂覆光敏层(6),并在光刻工艺中使用灰色调光掩模(7,21)在所述光敏层上形成所述成形结构。该掩模包括半透明材料的至少一个区域(8,16,18),其透明度取决于所述材料的光学带隙。 |
申请公布号 |
CN1726424A |
申请公布日期 |
2006.01.25 |
申请号 |
CN200380106078.1 |
申请日期 |
2003.11.28 |
申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司;LG菲利浦液晶显示器有限公司 |
发明人 |
I·D·弗伦奇;S·-I·帕克 |
分类号 |
G02F1/1335(2006.01);G03F1/14(2006.01);G03F1/00(2006.01) |
主分类号 |
G02F1/1335(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
张雪梅;王忠忠 |
主权项 |
1.一种在器件板(2,20)上形成成形结构的方法,包括给所述板涂覆光敏层(6,19),并在光刻工艺中使用灰色调光掩模(7,21)在该光敏层上形成所述成形结构,所述灰色调光掩模包括至少一个半透明材料的区域(8,16,18),所述材料具有取决于所述材料光学带隙的透明度。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |