发明名称 METHOD OF MAKING A NANOGAP FOR VARIABLE CAPACITIVE ELEMENTS
摘要
申请公布号 EP1618599(A2) 申请公布日期 2006.01.25
申请号 EP20040759726 申请日期 2004.03.22
申请人 ROBERT BOSCH GMBH;THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY 发明人 PARTRIDGE, AARON;LUTZ, MARKUS;KENNY, THOMAS
分类号 H01L21/20;H01G5/16;B81C1/00;H01L;H01L21/00;H01L27/14;H01L29/82;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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