用于控制清理的质量流控制器及其管理方法

摘要

本发明涉及一种用于控制清理的质量流控制器及其管理方法。在用户根据质量流控制器的用途设置了清理功能模式之后，当用户将模式设定为能控制最大流量以在执行清理功能时恒定保持最大流量的控制清理模式时，控制电路将根据用户的选择所输入的流量设定值与预先设定的阈值相比较，并通过切换到具有能执行清理功能的增益值的用于清理模式的增益电阻控制一阀门以恒定地保持最大流量；并通过切换到具有能执行一般控制功能的增益值的用于一般控制模式的增益电阻控制一阀门以精确控制一小流量。当用户根据质量流控制器的使用状态将模式设定为清理功能模式时，则完全开启阀门并设定阀门开启清理模式以获得最大流量，控制电路将用户输入的流量设定值与预先设定的阈值比较，并控制阀门以完全开启阀门从而实现最大流量并精确控制一小流量。

主权项

1.一种用于控制清理的质量流控制器，所述质量流控制器能精确和正确控制用于半导体制造的各种气体按照需要的量流出，所述控制器包括：用于根据流经管道的气流检测检测线圈两侧的温度变化并将温度差的值输出到控制电路的传感器；旁路，用于使由外界输入的气流部分流入装有传感器的管道并用于分开和输出气流；阀门，用于根据控制电路对一般控制用途的增益调整或对清理用途的增益调整，来调整并输出经所述旁路输入的气体流量；以及控制电路，当在设定为清理模式的状态下使用质量流控制器的用户输入流量的设定值高于阈值时，判断控制电路的控制模式符合清理模式，从而切换到具有能执行清理功能的增益值的电阻；当用户输入的流量设定值低于阈值时，判断控制电路的控制模式符合一般控制模式，从而切换到具有能执行一般控制功能的增益值的电阻；而且在增益调整为适于清理模式或一般控制模式的状态下，根据来自传感器的输入气流的温度差的值计算当前质量流量，以与用户设定的流量值相比较，并控制阀门以减小或增大从外界输入的气体流量。