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发明名称
HIGH-DENSITY PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号
EP1618589(A2)
申请公布日期
2006.01.25
申请号
EP20040749844
申请日期
2004.04.07
申请人
US
发明人
US
分类号
H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/34
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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