发明名称 | 支承基板的方法和装置 | ||
摘要 | 一种基板支承方法和装置包括竖直地准直起模针,所述起模针具有支承面,所述支承面在基板提升过程中啮合摩擦片和/或磁场来保持所述起模针的垂直定向。在一些实施例中,磁场和/或加重可交换地或附加地用来控制所述起模针的垂直定向,限制所述起模针的角度,和/或在基座上升时阻止所述起模针无意地粘合入所述基座中,并阻止所述基板的合成不均匀支承。 | ||
申请公布号 | CN1725464A | 申请公布日期 | 2006.01.25 |
申请号 | CN200510087809.3 | 申请日期 | 2005.06.01 |
申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | W·T·布劳尼干;C·索伦森;J·M·怀特;R·L·蒂内 |
分类号 | H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 顾峻峰 |
主权项 | 1、一种装置,包括:至少一个设置成垂直地滑动穿过基座的起模针;以及耦合到所述起模针上的磁铁。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |