对准方法和装置，光刻装置，器件制造方法和对准工具

摘要

一个实施例中，前后侧对准光学系统用于投影位于基片后侧的标记。前后侧对准光学系统设置成可使投影到前后侧对准光学系统的图象窗口的图象是基片后侧的标记的平移复制。这样机构的一个潜在优点是光轴位置的任何轻微不准确不会导致基片标记的图象的不准确。平移复制图象可用于基片的对准。

主权项

1.一种对准方法，包括：设置基片到第一位置，使所述基片的标记位于所述基片后侧；所述基片位于所述第一位置时，形成所述基片标记的图象；和利用对准光束检测基准标记和所述图象之间对准程度；其中所述图象是所述基准标记的平移复制。