发明名称 薄膜制造用剥离膜及其制造方法及电子部件用薄膜的制造方法
摘要 本发明涉及的薄膜制造用剥离膜的制造方法是,在基底膜(2)上涂布含有机硅树脂的涂布液(3a)之后,使该涂布液(3a)干燥,在上述基底膜上形成上述有机硅树脂的剥离层(3),然后将该已形成了剥离层(3)的基底膜(2)卷绕成卷筒状,制得用于制造电子部件用薄膜的剥离膜(1)的方法,基底膜(2)的厚度在5μm以上30μm不到时,一边对上述已形成了剥离层的基底膜(2)施加对应于每100mm的宽度3牛顿以上17牛顿以下的张力,一边卷绕该基底膜(2),这样能够防止卷绕散开及基底膜(2)的拉长,同时能够确保剥离层(3)的表面的平整性。
申请公布号 CN1238170C 申请公布日期 2006.01.25
申请号 CN02804825.3 申请日期 2002.02.13
申请人 TDK股份有限公司 发明人 饭田修治;宫原裕之;川崎薰
分类号 B28B1/30(2006.01);B32B27/36(2006.01);C08J7/04(2006.01);B05D7/04(2006.01) 主分类号 B28B1/30(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 胡烨
主权项 1.薄膜制造用剥离膜的制造方法,它是在基底膜上涂布含有机硅树脂的涂布液之后,使该涂布液干燥,在上述基底膜上形成上述有机硅树脂的剥离层,将该已形成了剥离层的基底膜卷绕成卷筒状,制得用于制造电子部件用薄膜的剥离膜的方法,其特征在于,上述基底膜的厚度在5μm以上30μm不到时,一边对上述已形成了剥离层的基底膜施加对应于每100mm的宽度的3牛顿以上17牛顿以下的张力,一边卷绕该基底膜。
地址 日本东京
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