发明名称 |
薄膜制造用剥离膜及其制造方法及电子部件用薄膜的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及的薄膜制造用剥离膜的制造方法是,在基底膜(2)上涂布含有机硅树脂的涂布液(3a)之后,使该涂布液(3a)干燥,在上述基底膜上形成上述有机硅树脂的剥离层(3),然后将该已形成了剥离层(3)的基底膜(2)卷绕成卷筒状,制得用于制造电子部件用薄膜的剥离膜(1)的方法,基底膜(2)的厚度在5μm以上30μm不到时,一边对上述已形成了剥离层的基底膜(2)施加对应于每100mm的宽度3牛顿以上17牛顿以下的张力,一边卷绕该基底膜(2),这样能够防止卷绕散开及基底膜(2)的拉长,同时能够确保剥离层(3)的表面的平整性。 |
申请公布号 |
CN1238170C |
申请公布日期 |
2006.01.25 |
申请号 |
CN02804825.3 |
申请日期 |
2002.02.13 |
申请人 |
TDK股份有限公司 |
发明人 |
饭田修治;宫原裕之;川崎薰 |
分类号 |
B28B1/30(2006.01);B32B27/36(2006.01);C08J7/04(2006.01);B05D7/04(2006.01) |
主分类号 |
B28B1/30(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
胡烨 |
主权项 |
1.薄膜制造用剥离膜的制造方法,它是在基底膜上涂布含有机硅树脂的涂布液之后,使该涂布液干燥,在上述基底膜上形成上述有机硅树脂的剥离层,将该已形成了剥离层的基底膜卷绕成卷筒状,制得用于制造电子部件用薄膜的剥离膜的方法,其特征在于,上述基底膜的厚度在5μm以上30μm不到时,一边对上述已形成了剥离层的基底膜施加对应于每100mm的宽度的3牛顿以上17牛顿以下的张力,一边卷绕该基底膜。 |
地址 |
日本东京 |