使用可调耦合接地电路控制等离子体的装置及方法

摘要

一种用于控制等离子体的系统及方法。该系统包括半导体室，该半导体室包括带电电极、另外的电极、以及可调耦合接地电路。带电电极用于接收晶片或衬底。至少存在一个用于与带电电极电连接的接地电极。至少一个接地电极电耦合至可调耦合接地电路。可调耦合接地电路用于改变接地电极的阻抗。等离子体的离子能量由可调耦合接地电路控制。

主权项

1.一种半导体室，用于产生等离子体，所述半导体室包括：带电电极，用于接收晶片或衬底；至少一个电极，用于产生与所述带电电极的电连接，所述至少一个电极具有可变阻抗；以及可调耦合接地电路，电耦合至所述至少一个电极，所述可调耦合接地电路用于改变所述至少一个电极的所述可变阻抗。