发明名称 |
半导体集成电路 |
摘要 |
本发明的课题是,提供具有能够保证晶片加工后已完成的门图形(门形状)有均匀的值的基本元件集合的半导体集成电路。在半导体衬底(未图示)上形成p型有源区(1)和n型有源区(2)。然后,在该p型有源区(1)和n型有源区(2)上形成3条门布线(3、4、5),在p型有源区(1)上,在与n型有源区(2)相向侧的相反一侧(图中的p型有源区(1)的上侧)形成用于设置接触孔(6、7)的突出部。在该突出部所形成的接触孔(6)在门布线(3)与门布线(4)之间形成。另外,在突出部所形成的接触孔(7)在门布线(4)与门布线(5)之间形成。 |
申请公布号 |
CN1238900C |
申请公布日期 |
2006.01.25 |
申请号 |
CN03107978.4 |
申请日期 |
2003.03.28 |
申请人 |
三菱电机株式会社 |
发明人 |
澁谷宏治 |
分类号 |
H01L27/04(2006.01);H01L27/10(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/04(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
刘宗杰;叶恺东 |
主权项 |
1.一种具有基于单元的基本元件集合的半导体集成电路,其特征在于,包括:在半导体衬底上所形成的第1有源区和第2有源区;以及在上述第1有源区上和上述第2有源区上通过、在规定的方向延伸、至少在上述第1有源区上和上述第2有源区上以均匀的间隔形成的多条门布线,上述第1有源区和上述第2有源区的至少一方具有向上述规定方向突出的突出部,还包括在上述突出部形成的接触孔,上述突出部的宽度比夹着上述突出部并且位于上述第1有源区和上述第2有源区上的上述多条门布线之间的宽度大。 |
地址 |
日本东京都 |