发明名称 半导体集成电路
摘要 本发明的课题是,提供具有能够保证晶片加工后已完成的门图形(门形状)有均匀的值的基本元件集合的半导体集成电路。在半导体衬底(未图示)上形成p型有源区(1)和n型有源区(2)。然后,在该p型有源区(1)和n型有源区(2)上形成3条门布线(3、4、5),在p型有源区(1)上,在与n型有源区(2)相向侧的相反一侧(图中的p型有源区(1)的上侧)形成用于设置接触孔(6、7)的突出部。在该突出部所形成的接触孔(6)在门布线(3)与门布线(4)之间形成。另外,在突出部所形成的接触孔(7)在门布线(4)与门布线(5)之间形成。
申请公布号 CN1238900C 申请公布日期 2006.01.25
申请号 CN03107978.4 申请日期 2003.03.28
申请人 三菱电机株式会社 发明人 澁谷宏治
分类号 H01L27/04(2006.01);H01L27/10(2006.01) 主分类号 H01L27/04(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 刘宗杰;叶恺东
主权项 1.一种具有基于单元的基本元件集合的半导体集成电路,其特征在于,包括:在半导体衬底上所形成的第1有源区和第2有源区;以及在上述第1有源区上和上述第2有源区上通过、在规定的方向延伸、至少在上述第1有源区上和上述第2有源区上以均匀的间隔形成的多条门布线,上述第1有源区和上述第2有源区的至少一方具有向上述规定方向突出的突出部,还包括在上述突出部形成的接触孔,上述突出部的宽度比夹着上述突出部并且位于上述第1有源区和上述第2有源区上的上述多条门布线之间的宽度大。
地址 日本东京都