大尺寸蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法

摘要

本发明涉及蓝宝石单晶生长方法，具体为一种冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶生长方法。其特点是：工艺过程中冷却水出口温度稳定在25±10℃范围内，整个工艺过程中真空压力不大于6×10^－3Pa。利用钨发热体及坩埚，钨钼隔热屏及高温结构件，在专用单晶炉内制备蓝宝石晶体。将坩埚内的原料加热至熔化后，通过观察液面表面形态，调节炉内加热体发热量，使液面对流形态稳定；加热量调节范围100－2500W/h；熔体内冷心位置与坩埚几何中心相对偏差不大于Φ20.0mm。在引晶工艺过程中，缓慢调节籽晶使其下端至熔体液面以上5－20mm处预热，消除热应力；利用传统提拉法工艺，沿冷心偏离方向的5－15次引晶后使结晶中心转移至冷心，配合旋转控制结晶端部形状使其沿籽晶中心轴对称并开始自冷心放肩，其中旋转速度2－16转/分钟。

主权项

1.一种大尺寸蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法，它包含在真空条件下加热三氧化二铝原料，待其熔化后，通过引晶、放肩、等径提拉、冷却、退火工艺过程制备蓝宝石晶体，其特征是：工艺过程中冷却水出口温度稳定在25±10℃范围内，整个工艺过程中真空压力不大于6×10-3Pa。