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发明名称 ELECTRO-STATIC CHUCK OF SEMI CONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND METHOD FOR CHUCKING WAFER USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100545169(B1) 申请公布日期 2006.01.24
申请号 KR20030061554 申请日期 2003.09.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/683;H01T23/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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