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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE HAVING COOLING WATER FILTER
摘要
申请公布号
KR20060007277(A)
申请公布日期
2006.01.24
申请号
KR20040056067
申请日期
2004.07.19
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, YONG CHAL
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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