发明名称 METHOD FOR FORMING TRENCH ISOLATION IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100543455(B1) 申请公布日期 2006.01.23
申请号 KR20030034896 申请日期 2003.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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