| 主权项 |
1.一种X射线萤光装置,包括: 一X射线源; 一位于该X射线源发射之X射线入射处之X射线摄影 机; 一位于该X射线源与该X射线摄影机间用以支撑一 样本之样本台; 一用以倾斜该X射线摄影机至一给定倾斜方向之倾 斜机械装置; 一用以于沿该样本台之表面之平面上彼此正交之x 轴与y轴中移动该样本台之定位移动机械装置,俾 将一样本定位于该X射线摄影机之视野内; 一并同该定位移动机械装置使得该样本台绕z轴转 动之转动机械装置,其中该z轴系于该样本台向该X 射线源来回移动之方向中延伸,并与该x轴及该y轴 正交; 一位置修正移动机械装置,其并同该转动机械装置 及该定位移动机械装置于与该X射线摄影机倾斜方 向移动该样本台; 一z轴移动机械装置,其并同该位置修正移动机械 装置、该转动机械装置及该定位移动机械装置于z 轴方向移动该样本台;及 一倾斜追踪机械装置,其当该X射线摄影机为该倾 斜机械装置倾斜时,依一该X射线摄影机之倾斜角 驱动该修正移动机械装置及该z轴移动机械装置, 但不驱动该定位移动机械装置,使得该X射线摄影 机倾斜前,得以维持样本之观点及萤光检查放大率 。 2.如申请专利范围第1项之X射线萤光装置,其中该 倾斜追踪机械装置根据该X射线摄影机之倾斜角, 计算该位置修正移动机械装置之移动速度与移动 量以及该z轴移动机械装置之移动速度与移动量, 且该倾斜追踪机械装置驱动该位置修正移动机械 装置及该z轴移动机械装置,使其依个别计算之移 动速动与移动量移动。 3.一种X射线萤光装置,包括: 一X射线源; 一位于该X射线源发射之X射线入射处之X射线摄影 机; 一位于该X射线源与该X射线摄影机间用以支撑一 样本之样本台; 一用以倾斜该X射线摄影机至一给定倾斜方向之倾 斜机械装置; 一用以于沿该样本台之表面之平面上彼此正交之x 轴与y轴中移动该样本台之定位移动机械装置,俾 将一样本定位于该X射线摄影机之视野内; 一并同该定位移动机械装置使得该样本台绕z轴转 动之转动机械装置,其中该z轴系于该样本台向该X 射线源来回移动之方向中延伸,并与该x轴及该y轴 正交; 一位置修正移动机械装置,其并同该转动机械装置 及该定位移动机械装置于与该X射线摄影机倾斜方 向移动该样本台; 一z轴移动机械装置,其并同该位置修正移动机械 装置、该转动机械装置及该定位移动机械装置于z 轴方向移动该样本台;及 一变动放大率(in-changing-magnification-factor)追踪机械 装置,其当该X射线摄影机为该倾斜机械装置倾斜 之状态下,该样本台于z轴方向移动时,依该样本台 在z轴方向上之移动量,驱动该修正移动机械装置, 但不驱动该定位移动机械装置,使得在z轴上之该 样本台之该移动前,得以维持样本之观点。 4.如申请专利范围第3项之X射线萤光装置,其中该 变动放大率追踪机械装置根据该样本台在z轴方向 上之移动量,计算该修正移动机械装置之移动距离 ,并驱动该修正移动机械装置,使其以所计算之移 动距离移动。 图式简单说明: 图1显示本发明之一具体实施例之配置,其中包含 以模型型式显示之机械配置,以及以方块图型式显 示之电气配置; 图2系适于解释当在具体实施例中倾斜X射线摄影 机时,X射线萤光装置之操作图;及 图3系适于解释当在具体实施例中倾斜X射线摄影 机之状态下,于z轴方向移动样本台时,X射线萤光装 置之操作图。 |
