| 主权项 |
1.一种电镀内部热散布器系统,其包括: 一加长之顶端及底端管道; 一电镀溶液喷洒器,其包括一连串之入口,且入口 之方位将流经入口之电镀溶液导引至顶端及底端 管道之一并朝向另一管道; 一阳极;及 一平面状之阴极,其包括第一导电性表面,第二导 电性表面以及一周边,第一及第二导电性表面相互 平行且位于阴极之相对侧边上;其中 喷洒器与阴极周边之间的距离至少与第一或第二 导电性表面之间的距离相同。 2.根据申请专利范围第1项之系统,其中该喷洒器将 流经入口之电镀溶液导引朝向一平面中之阴极,且 该平面与阴极系共平面。 3.根据申请专利范围第2项之系统,其中该: 顶端及底端管道皆包括两平坦且平行之非导电性 侧边,其与阴极平行:与 阴极在非导电性侧边之间至少部份位于顶端及底 端管道中。 4.根据申请专利范围第3项之系统,其中该: 顶端及底端管道相对配置且相互间隔开,其间之间 隙形成一对溶液流出凹槽;与 管道可防止阴极与阳极之间的流动,其不同于经由 流出凹槽。 5.根据申请专利范围第4项之系统,其中该流出凹槽 约平行于阴极之中心线。 6.根据申请专利范围第5项之系统,其中该阴极包括 电介体基版,该导电性表面协助热散布器位于电介 体基版上。 7.根据申请专利范围第1项之系统,其中该顶端及底 端管道之宽度小于或等于1英寸。 8.根据申请专利范围第1项之系统,其中该喷洒器系 水平配置,并将流经入口之电镀溶液导引至底端管 道中及朝向顶端管道。 9.根据申请专利范围第1项之系统,其中该顶端及底 端管道之宽度小于或等于0.5英寸。 10.根据申请专利范围第1项之系统,其中该顶端及 底端管道之宽度小于或等于0.5英寸,且另包括复数 个零件固定夹子,夹子系电气连接至电源且位于顶 端或底端管道中。 11.根据申请专利范围第1项之系统,其另包括复数 个阳极,该阳极位于顶端及底端管道外侧,且沿着 顶端及底端管道长度配置。 12.根据申请专利范围第1项之系统,其中该顶端及 底端管道以一间距分隔开,且至少一顶端及底端管 道系可移动而改变该间距。 13.根据申请专利范围第1项之系统,其中该电镀零 件与一管道壁部之间的最短距离小于该管道壁部 与一阳极之间的最短距离。 14.一种电镀内部热散布器系统,其包括: 一阳极,一平面状之阴极,一喷洒器及复数个电气 绝缘挡板;其中 挡板皆位于阳极与阴极之间,但不位于喷洒器与阴 极之间,并与两参考平面之一共平面,该参考平面 与阴极平行;与 喷洒器沿着一平面将电镀流体导引朝向阴极之边 缘,该平面与阴极共平面。 15.一种内部热散布器电镀工作件之方法,其步骤包 括: 将欲电镀之工作件浸入一定量之电镀溶液中; 将欲电镀之工作件至少部份置于顶端电镀管道及 底端电镀管道中,该顶端及底端电镀管道包括非导 电性侧边,且相对配置并相互间隔开,其间的间隙 形成一对溶液流出凹槽,该凹槽约位于欲电镀之工 作件中心上方; 使电流在工作件与一或多个阳极之间流动,且电流 仅在经过溶液流出凹槽之后流入顶端及底端管道; 与 沿着电镀管道之长度移动欲电镀之工作件,以便在 工作件表面上形成一或多个内部热散布器,且该工 作件须平行于挡板。 16.根据申请专利范围第15项之方法,其步骤另包括: 将工作件接合至一机架,该机架在电镀过程中用以 固定并移动工作件; 电镀后执行第一次洗涤及乾燥循环,且在工作件仍 潮湿时机架至少一部位已洗涤及乾燥;与 第一次洗涤及乾燥循环后实施第二次洗涤及乾燥 循环,其中工作件已洗涤及乾燥。 17.根据申请专利范围第16项之方法,其中水用于第 一次及第二次洗涤循环,且第二次洗涤循环所用之 水纯净度优于第一次洗涤循环所用之水。 图式简单说明: 图1为先前电镀系统技艺之视图。 图2为本发明电镀系统一具体实施例之视图。 图2A为图2系统中欲电镀零件之详细视图。 图3A为图1系统中所运用之夹子顶视图。 图3B为图2系统中所运用之夹子顶视图。 图4为本发明方法之概述。 |
