感放射线性树脂组成物

摘要

本发明系提供可有效感应各种放射线，感度及解像度优异，且长期保存性优异之可作为正型之化学增幅型光阻剂使用之感放射线性组成物。「解决手段」一种感放射线性组成物，其特征系含有下述(A)~(C)的成分，其中(A)至少具有一个具有一个或两个与氮原子键结之氢原子之胺基之化合物的前述胺基所具有之氢原子之一个以上被第三丁氧羰基取代之低分子化合物，(B)感放射线性酸发生剂，(C)以酸解离性基保护之硷不溶性或硷难溶性之树脂，该酸解离性基解离时，成为硷可溶性之含矽原子之树脂。

主权项

1.一种正型感放射线性组成物,其特征系含有下述( A)-(C)的成分, 其中(A)至少具有一个含有一个或两个与氮原子键 结之氢原子之胺基之化合物的前述胺基所具有之 氢原子之一个以上被第三丁氧羰基取代之低分子 化合物, (B)感放射线性酸发生剂, (C)以酸解离性基保护之硷不溶性或硷难溶性之树 脂,该酸解离性基解离时,成为硷可溶性之含矽原 子之树脂。 2.如申请专利范围第1项之正型感放射线性树脂组 成物,其中前述(A)成分之低分子化合物所定义之至 少具有一个其含有一个或两个之与氮原子键结之 氢原子之胺基之化合物为选自由以下述式(1)