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经营范围
发明名称
Heat treatment apparatus
摘要
申请公布号
KR100543711(B1)
申请公布日期
2006.01.20
申请号
KR20040045856
申请日期
2004.06.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/324;B05B7/04;B41J2/04;H01L21/00;H01L21/02
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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