A HEAT PLATE FOR WAFER AND A BAKE APPARATUS WITH IT,申请号KR20030083915-传众专利搜索

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发明名称	A HEAT PLATE FOR WAFER AND A BAKE APPARATUS WITH IT
摘要
申请公布号	KR100543539(B1)	申请公布日期	2006.01.20
申请号	KR20030083915	申请日期	2003.11.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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