MEASURING ARRANGEMENT COMPRISING A PLURALITY OF DISTANCE SENSORS, CALIBRATING DEVICE THEREFOR, AND METHOD FOR DETERMINING THE TOPOGRAPHY OF A SURFACE

摘要

Eine Messanordnung mit einem im Abstand zu einer Oberfläche (11) über diese in einer Scanrichtung (R) verfahrbaren Sensorkopf (13) mit einer Mehrzahl von zur Abstandsmessung geeigneten, in Scanrichtung fest zueinander beabstandeten Abstandssensoren, mit einer Bewegungseinrichtung zur Bewegung des Sensorkopfes (13) in solchen Scanschritten, dass Punkte der Oberfläche (11) in aufeinander folgenden Scanschritten von mehreren Abstandssensoren erfasst werden und mit einer Auswertungseinrichtung, der die Ausgangssignale der Abstandssensoren zuführbar sind, ist erweitert durch eine Winkelmesseinrichtung (14, 15) zur Bestimmung eines Winkelwerts des Sensorkopfes (13) relativ zur Scanrichtung (R) und Weitergabe des Winkelwerts an die Auswertungseinrichtung. Dadurch wird die Eliminierung systematischer Messfehler zur Rekonstruktion einer Topografie der Oberfläche (11) in Scanrichtung (R) möglich. Ausserdem ist es möglich, mit der Messanordnung eine Kalibrierung des Sensorkopfes (13) durchzuführen.