APPARATUS FOR DRIVING A HOLDER OF A SUBSTRATE,申请号KR20040096182-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR DRIVING A HOLDER OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号	KR100546873(B1)	申请公布日期	2006.01.19
申请号	KR20040096182	申请日期	2004.11.23
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	PARK, WON TAEK;BANG, SANG BONG;KIM, YOUNG EAL
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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