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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterspeichervorrichtung
摘要
申请公布号 DE4238404(B4) 申请公布日期 2006.01.19
申请号 DE19924238404 申请日期 1992.11.13
申请人 GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD. 发明人 JANG, SEONG JIN;LEE, HEE GOOK;JUN, YOUNG KWON;YUN, KWANG HYUN
分类号 G03F7/20;G11C11/401;H01L21/027;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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