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发明名称 Abbildungssystem zur Positionierung einer Messspitze auf einen Kontaktbereich eines Mikrochips und ein Verfahren zur Darstellung
摘要
申请公布号 DE10125798(B4) 申请公布日期 2006.01.19
申请号 DE20011025798 申请日期 2001.05.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MARX, THILO;DIETRICH, STEFAN;MAYER, PETER;DOBLER, MANFRED
分类号 G01B11/03;G01B11/14;G01R31/28;G01R31/303;G02B21/32;H01L21/66 主分类号 G01B11/03
代理机构 代理人
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