| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM MODIFIZIEREN VON CHEMIKALIEN IN EINEM ALD-VERFAHREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60019789(T2) |
申请公布日期 |
2006.01.19 |
| 申请号 |
DE20006019789T |
申请日期 |
2000.10.12 |
| 申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V., BILTHOVEN |
发明人 |
ELERS, KAI-ERIK |
| 分类号 |
C23C16/448;C23C16/00;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B29/02;C30B29/36;C30B29/38;C30B35/00;H01L21/285;H01L21/768 |
主分类号 |
C23C16/448 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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