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发明名称 A THIN FILM DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF THIS FILM DEPOSITION USING THE SAME APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060006178(A) 申请公布日期 2006.01.19
申请号 KR20040055075 申请日期 2004.07.15
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 KIM, TAE SEUNG;KANG, CHANG HO
分类号 H05B33/10 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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