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发明名称 APPARATUS FOR INSPECTING WAFER AND REMOVING PATICLES ON WAFER
摘要
申请公布号 KR20060006305(A) 申请公布日期 2006.01.19
申请号 KR20040055245 申请日期 2004.07.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SI CHUL
分类号 H01L21/304;H01L21/66 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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