多边滚筒溅射装置及其溅射方法、由其形成的被覆微粒子

摘要

本发明提供一种用于在微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜的多边滚筒溅射装置、多边滚筒溅射方法及由其形成的被覆微粒子、微型胶囊及其制造方法。本发明的多边滚筒溅射方法是：将微粒子(3)收容在相对于重力方向大致平行的断面的内部形状是多边形的真空容器(1)内，以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器(1)旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内(1)的微粒子(3)，同时进行溅射，从而在该微粒子(3)的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。

主权项

1.一种多边滚筒溅射装置，其特征在于，具备：用于收容微粒子并且相对于重力方向大致平行的断面的内部形状是多边形的真空容器，以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器旋转的旋转机构，和配置在上述真空容器内的溅射靶；一边通过用上述旋转机构旋转上述真空容器而搅拌或者旋转该真空容器内的微粒子，一边进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。