发明名称 具有透明导电薄膜的基片和使用该基片的有机电致发光装置
摘要 提供一种具有一透明导电薄膜的基片,该透明导电薄膜的逸出功高、表面光滑性好、电阻率低,从而确保耗电低、显示质量高。使用SnO<SUB>2</SUB>含量为4-6wt%的ITO烧结压坯用离子镀敷法在一玻璃基片1的表面上形成一ITO薄膜2。如此生成的ITO薄膜2的表面的逸出功为4.9-5.5eV,表面粗糙度为1-10nm,电阻率1.6×10<SUP>-4</SUP>Ω·m或以下。还提供一种使用该基片的有机EL装置,在该装置中,一有机多层薄膜(空穴迁移层5、发光层7和电子迁移层6)层压在该ITO薄膜2的表面上,然后一金属薄膜层4层压在该有机多层薄膜的表面上。
申请公布号 CN1237199C 申请公布日期 2006.01.18
申请号 CN01109738.8 申请日期 2001.03.29
申请人 日本板硝子株式会社 发明人 和田俊司;加藤之启
分类号 C23C14/08(2006.01);C23C14/48(2006.01);H05B33/10(2006.01);H05B33/26(2006.01) 主分类号 C23C14/08(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 韩宏
主权项 1、一种具有透明导电薄膜的基片,包括一透明基片,一形成在所述透明基片的一表面上的透明导电薄膜,其中,所述透明导电薄膜的逸出功为4.9-5.5eV、表面粗糙度为1-10nm、电阻率1.6×10-4Ω·m或以下,及其中所述透明导电薄膜与层压在所述透明导电薄膜的表面上的一空穴迁移层之间的能垒等于或小于0.7eV。
地址 日本大阪