发明名称 具有基区局部重掺杂功率双极型晶体管
摘要 本发明提供的一种具有基区局部重掺杂功率双极型晶体管,它是在现有的功率双极型晶体管的基区5局部重掺杂形成重掺杂基区9,所述的重掺杂基区9的掺杂类型与基区5的掺杂类型相同(指同为p型或同为n型),其浓度大于基区5的掺杂浓度;重掺杂基区9位于基极电极1下方的基区5里面,且所述的重掺杂基区9和基极电极1紧密接触。与常规的功率双极型晶体管相比,采用这种基区局部重掺杂结构,除了能在基极处形成欧姆接触外,在具有在相同的击穿电压V<SUB>CBO</SUB>情况下,还能大大提高器件的电流增益。
申请公布号 CN1722460A 申请公布日期 2006.01.18
申请号 CN200410040217.1 申请日期 2004.07.15
申请人 电子科技大学 发明人 张波;陈万军;易坤;陈林;李肇基
分类号 H01L29/36(2006.01);H01L29/73(2006.01) 主分类号 H01L29/36(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1、一种具有基区局部重掺杂功率双极型晶体管,它包括:基极电极(1)、发射极电极(2)、集电极电极(3)、发射区(4)、基区(5)、轻掺杂集电区(6)、重掺杂集电区(7),其特征是它还包括重掺杂基区(9);所述的重掺杂基区(9)的掺杂类型与基区(5)的掺杂类型相同(指同为p型或同为n型),其浓度大于基区(5)的掺杂浓度;所述的重掺杂基区(9)位于基极电极(1)下方的基区(5)里面,且所述的重掺杂基区(9)和基极电极(1)紧密接触。
地址 610054四川省成都市建设北路二段4号