电子发射元件、电子源、图像显示装置和它们的制造方法

摘要

提供一种电子发射元件、电子源、图像显示装置和它们的制造方法，在使用表面传导型的电子发射元件的电子源中，在用高电阻膜实现元件部的防止带静电的同时，防止因该高电阻膜的存在导致的泄露电流。为此，在形成导电性薄膜(4)后，在除了该导电性薄膜(4)和其周围的区域上形成高电阻膜(7)，实施电形成处理，在导电性薄膜4上形成了龟裂(5)后，通过在含有碳化合物的气氛中在元件电极(2、3)之间施加电压，在龟裂5内和从龟裂5的端部到高电阻膜7上淀积碳膜(6)。

主权项

1.一种电子发射元件，其特征在于包括：绝缘性基板；在该绝缘性基板上配置的一对元件电极；跨过上述一对元件电极之间配置的、在一部分上有龟裂的导电性薄膜；位于从上述导电性薄膜的端部和上述龟裂的交点一直到上述绝缘性基板上的区域、以及上述龟裂部分上的碳膜；以及与上述一对元件电极电连接、覆盖除了离上述导电性薄膜的端部有规定距离的区域以外的绝缘性基板的高电阻膜；上述碳膜与上述高电阻膜接触。