感光树脂组合物

摘要

本发明描述了一种感光树脂组合物，其包含一种碱溶性树脂，如(甲基)丙烯酸烷基酯和(甲基)丙烯酸的共聚物，和一种含醌二叠氮化物基团的光敏剂，一种由如下通式(I)表示的多环酚化合物，如果需要的话，还包含一种具有环氧基团的硬化剂，这种组合物用于形成具有高耐热性，高绝缘性，高分辨率和高透光性的平面化膜或层间介电膜，其可用于半导体或平面平板显示器，还描述了薄膜图案形成方法。∴其中，R₁，R₂，R₃，R₄，R₅，R₆和R₇彼此独立地表示H，C_1-4烷基或∴m和n彼此独立地表示整数0-2，每一个a，b，c，d，e，f，g和h为整数0-5，满足a+b≤5，c+d≤5，e+f≤5和g+h≤5，和i为整数0-2。

主权项

1.一种感光树脂组合物，其包含一种碱溶性树脂和一种含醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中，碱溶性树脂是丙烯酸树脂，所述的感光树脂组合物进一步包含由式(II)或式(III)表示的酚化合物：所述丙烯酸树脂包含由甲基丙烯酸烷基酯或丙烯酸烷基酯得到的组成单元和由甲基丙烯酸或丙烯酸得到的组成单元，所述丙烯酸树脂包含5-30mol％的来自甲基丙烯酸或丙烯酸的组成单元，采用聚苯乙烯标准测定的丙烯酸树脂的平均分子量为20,000＜Mw≤40,000，具有醌二叠氮化物基团的光敏剂是上述式(II)或式(III)表示的化合物与萘并醌二叠氮化物磺酰卤或苯并醌二叠氮化物磺酰卤的反应产物。