铁电电子束源和用于产生电子束的方法

摘要

梳状电极形成在铁电薄膜的主表面上，以及平面电极形成在铁电薄膜的背表面上。然后，铁电薄膜的主表面的性能被转变成半导电性。然后，在给定的气氛中设置包括铁电薄膜、梳状电极和平面电极的组合体。在该环境下，对梳状电极施加负电压以极化铁电薄膜，并对平面电极施加负脉冲电压，由此从铁电薄膜的主表面产生电子束。

主权项

1.一种铁电电子束源，包括：铁电薄膜，形成在所述铁电薄膜的主表面上的梳状电极，和形成在与所述铁电薄膜的所述主表面相对的所述铁电薄膜的背表面上的平面电极，其中所述铁电薄膜的所述主表面的性能被转变成半导电性，和第一负电压施加到所述梳状电极以极化所述铁电薄膜，以及第二负电压施加到所述平面电极，由此从所述铁电薄膜的所述主表面产生电子束。