| 发明名称 | 超声波清洗装置及超声波清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了在对清洗物进行超声波清洗时实现清洗物向清洗槽出入的高效化同时防止装置在垂直尺寸上变得大型化的超声波清洗技术。在清洗槽(2)的侧壁上设置入口(6)与出口(7)，入口(6)与出口(7)具有开闭自如的门(6h、7h)，从上游的移送通路(3)移送来的清洗物(载体(8))从入口(6)投入后，用门(6h)堵住而密闭，将在贮存槽内除气了的清洗液导入清洗槽(2)内对清洗物进行超声波清洗。其后，清洗槽(2)内清洗液返回贮存槽，打开出口(7)的门(7h)，从出口(7)通过下游的移送通路(4)，向侧方排出清洗物(载体(8))。然后，反复进行该操作。 | ||
| 申请公布号 | CN1723091A | 申请公布日期 | 2006.01.18 |
| 申请号 | CN200380105324.1 | 申请日期 | 2003.10.07 |
| 申请人 | 株式会社星团;东京系统开发株式会社;爱信AW株式会社 | 发明人 | 柴野美雪;奥野秦;榊原正人 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | B08B3/12(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平 |
| 主权项 | 1.一种超声波清洗装置，通过向容纳着被除气的清洗液的清洗槽内放入清洗物从而旨在对清洗物进行超声波清洗，其特征在于，用于将清洗物投入清洗槽内和将清洗物排出清洗槽的入口与出口设置在前述清洗槽的侧壁上，这些入口与出口设置有可关闭的门，清洗物移送机构设置在这些入口与出口的附近，所述清洗物移送机构从清洗槽的侧方将清洗物投入清洗槽内并朝着清洗槽的侧方将清洗槽内的清洗物排出，并且前述清洗槽内的清洗液可由清洗液注入/排出机构被注入到清洗槽内和从清洗槽排出。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||