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发明名称 Method of predicting a lifetime of filament in ion source and ion source device
摘要
申请公布号 GB2395286(B) 申请公布日期 2006.01.18
申请号 GB20030026531 申请日期 2003.11.14
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KOJI IWASAWA
分类号 H01J27/08;H01J37/24;G01R27/08;H01J27/02;H01J37/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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